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表面粗糙度中的单位RMS代表什么含义？一些使用粗糙度仪的用户经常会询问到相关问题。在此，时代仪器小编为大家解析一下RMS到底在表面粗糙度中所代表的含义究竟是什么。
其实RMS为微粗糙度，表面粗糙度是影响表面的物理和化学性能的重要因素。研究表面粗糙度有重要的理论意义和应用价值。目前已民用工业许多种量化表示表面粗糙度的方法。最常用的是RMS。但近年来发现许多表面的标度不变的复杂结构，RMS粗糙度不能有效地描述这种特点。在非平衡态下生长的薄膜预期是一个自仿射分的表面，它的RMS粗糙度δ随薄膜生长时间t和x,y基底的水平取样长度L有以下关系：δ（L，t)=Lαf(t/Lα/β）
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